开机和打开软件等操作步骤：

1.开启设备电源。按下显示屏左上方绿色电源ON按钮开启设备电源，再按下设备后上方UPS电源开启工控机PC的电源，再按下显示屏上方黄色ROBOT电源按钮(按下时间需保证在0.5秒~5秒之间)，打开机器人伺服开关。

2. 检查真空和压缩空气压力是否达到。查看设备后方的各真空压力表和压缩空气压力表的显示值，若为零则是真空或压缩空气未开启需要开启。

3.打开软件。双击桌面desktop _ctc 快捷图标打开软件。进入软件界面操作之前需要登录，可选择OEM用户，暂时无密码。

4. 初始化设备各单元。点击软件界面下方第3个图标按钮SERVICE， 再点击SERVICE界面右边缘第4个图标按钮Init,再在Init界面中点左下部AllI Init 按钮，然后等待初始化完成，所有按钮的文字由白色恢复为黑色表示全部初始化完成。(软件启动之后只需要进行一次初始化，除非出现错误报警，否则不需要再次进行初始化) (如果初始化过程中发生报警报警铃响且界面 上方Alarm和Buzer off图标按钮变红色，表示某个单元存在问题，需要联系设备相关工程师解决问题)

自动匀胶操作步骤:

1.将晶片(wafer) 放入片盒(assette) 中(暂时第1槽位(slot1) 先不要放入，第1槽位目前存在问题)，然后将片盒放到片盒台面的左边卡槽(对应软件中的片盒CS1)中，放好之后检查片盒外部晶片边缘是否竖直对齐。

2.点击软件界面下方第1个图标按钮MAIN,然后点击MAIN界面左部的LOT1 Control按钮(与步骤1中的CS1对应)。

3.检查LOT1 Control按钮弹出界面中的晶片尺寸WaferSize (3Inch 或4Inch)是否正确，槽位范围Range设置(自动运行时一般为1-25)、循环次数Loop Count是否为1。若配置无误，点击Select Lot Recipe按钮选择正确的匀胶自动运行配方(例如cot _test al)。配方选择好之后点击Start按钮，即开始自动运行匀胶程序。

4.自动运行结束之后会有响铃提示，同时Buzzer off按钮变红色，取下片盒或者点击Buzzeroff按钮即可关闭铃声。若要退出软件点击界面右上方的Exit按钮。

自动显影操作步骤与上述步骤相似，不同的地方有:

1.在上述第1步中将片盒放在右边卡槽中(对应软件中的片盒CS2) (并非必须要这样，两边卡槽其实都可以运行)。

2.在上述第2步中点击MAIN界面左部的LOT2 Control按钮(与上面步骤中的CS2对应)。3,在上述第3步中选择显影对应的配方(例如dev. test all)。