我们怀着极大的兴奋，邀请陕西能源职业技术学院的师生们莅临我们公司进行一次精彩纷呈的企业参观活动！学校到企业参观学习有助于学生发展实践技能。在企业现场，学生有机会亲自参与到一些实际操作中，学生们的爱姆加之旅这对于培养他们的实际动手能力和解决问题的能力至关重要。通过与企业专业人士的互动，学生能够学到更多实用的技能和经验，这对他们未来就业起到积极的推动作用。学校到企业参观学习还有助于激发学生的职业兴趣和规划未来。很多学生在参观了企业后可能会对某个行业或职业方向产生浓厚兴趣，学生们的爱姆加之旅这有助于他们更加明确自己的职业目标。通过与企业从业者的交流，学生可以获得关于职业发展的建议和指导，有助于更好地规划自己的职业生涯。学校到企业参观学习是一种极富教育意义的活动，它不仅为学生提供了与实际工作环境接触的机会，也促进了他们的综合素养发展。学生们的爱姆加之旅加强了学校与企业的沟通交流，使学生能够更好地为未来的职业生涯做好准备。

       🔍 发现创新科技：让学生亲身感受我们公司的科技设备和创新工作流程，为未来科技领域的发展提供新的思路和灵感。

       💼 实践与学术结合：我们将为学生提供一个融合学术知识与实际应用的机会，让他们了解职场需要的技能和素养。

       🤝 与行业专业人士交流：学生们将有机会与我们公司的专业人才面对面交流，听取他们的职业建议和实践经验分享。

爱姆加专业从事半导体和显示行业工艺设备的设计、生产，以及半导体和显示行业工艺技术开发、技术服务。所提供的半导体和显示工艺设备产品包括：匀胶机、半自动和全自动匀胶显影机、半导体喷胶机、槽式（Wet Bench）及单片(Single Wafer)的蚀刻-剥离-清洗自动生产线。我们公司技术人员带领学生了解了全自动匀胶显影机，现介绍如下：匀胶显影机结构分为晶圆盒工作站、工艺处理部分与光刻机联机的机口界面。匀胶显影机流程的控制程序：光刻材料的旋涂和烘烤-晶圆背面清洗-光刻机曝光-去离子水清洗-后烘烤-显影。匀胶显影机内的主要工艺单元有：晶圆表面增粘处理、光刻胶旋涂单元、烘烤和冷却、边缘曝光、显影单元、光刻胶线条倒塌及其解决办法。匀胶显影机清洗单元工艺：去离子水冲洗、晶圆背面清洗（边缘夹持技术、分区域背面清洗）。技术人员带领学生操作匀胶显影机如下步骤：

开机和打开软件等操作步骤：

1.开启设备电源。按下显示屏左上方绿色电源ON按钮开启设备电源，再按下设备后上方UPS电源开启工控机PC的电源，再按下显示屏上方黄色ROBOT电源按钮(按下时间需保证在0.5秒~5秒之间)，打开机器人伺服开关。

2. 检查真空和压缩空气压力是否达到。查看设备后方的各真空压力表和压缩空气压力表的显示值，若为零则是真空或压缩空气未开启需要开启。

3.打开软件。双击桌面desktop _ctc 快捷图标打开软件。进入软件界面操作之前需要登录，可选择OEM用户，暂时无密码。

4. 初始化设备各单元。点击软件界面下方第3个图标按钮SERVICE， 再点击SERVICE界面右边缘第4个图标按钮Init,再在Init界面中点左下部AllI Init 按钮，然后等待初始化完成，所有按钮的文字由白色恢复为黑色表示全部初始化完成。(软件启动之后只需要进行一次初始化，除非出现错误报警，否则不需要再次进行初始化) (如果初始化过程中发生报警报警铃响且界面 上方Alarm和Buzer off图标按钮变红色，表示某个单元存在问题，需要联系设备相关工程师解决问题)

自动匀胶操作步骤:

1.将晶片(wafer) 放入片盒(assette) 中(暂时第1槽位(slot1) 先不要放入，第1槽位目前存在问题)，然后将片盒放到片盒台面的左边卡槽(对应软件中的片盒CS1)中，放好之后检查片盒外部晶片边缘是否竖直对齐。

2.点击软件界面下方第1个图标按钮MAIN,然后点击MAIN界面左部的LOT1 Control按钮(与步骤1中的CS1对应)。

3.检查LOT1 Control按钮弹出界面中的晶片尺寸WaferSize (3Inch 或4Inch)是否正确，槽位范围Range设置(自动运行时一般为1-25)、循环次数Loop Count是否为1。若配置无误，点击Select Lot Recipe按钮选择正确的匀胶自动运行配方(例如cot _test al)。配方选择好之后点击Start按钮，即开始自动运行匀胶程序。

4.自动运行结束之后会有响铃提示，同时Buzzer off按钮变红色，取下片盒或者点击Buzzeroff按钮即可关闭铃声。若要退出软件点击界面右上方的Exit按钮。

自动显影操作步骤与上述步骤相似，不同的地方有:

1.在上述第1步中将片盒放在右边卡槽中(对应软件中的片盒CS2) (并非必须要这样，两边卡槽其实都可以运行)。

2.在上述第2步中点击MAIN界面左部的LOT2 Control按钮(与上面步骤中的CS2对应)。3,在上述第3步中选择显影对应的配方(例如dev. test all)。

若自动运行过程中发生报警报警铃响且界面上方Alarm和Buzzer off图标按钮变红色，表示某个单元出现了问题，需要联系设备相关工程师解决问题。