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匀胶机可以实现尺寸500mm×500mm×50mm蓝宝石玻璃基底光刻胶旋涂膜层的形成
匀胶机按不同需求可分别配置匀胶单元、供液系统、抽风单元、控制部份等,其中匀胶单元包括主轴系统、承片台系统、上盖机构、匀胶腔体等几部分组成。该设备利用离心力使滴在基片上的胶液均匀地涂覆在基片上,用于完成基片匀胶工艺。该设备滴胶系统可定点也可扫描滴胶,手动取放片,真空吸附加限位柱形式固定基片。