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弯月面涂胶机(狭缝式涂布机)
    发布时间: 2020-03-25 10:32    

弯月牙涂胶基板尺寸:1400 mm×420 mm×200 mm)
供胶系统及胶液装置为移动部件
玻璃及被涂物品为固定不变
移动速度及高度差均可调


弯月面涂胶机(狭缝式涂布机)

用途:主要用于光阻涂胶工艺,原理是借用于液体的涨力原理进行弯月牙涂胶,主要装置就液刀口溢出的光阻涂布在基板表面。

一、产品使用范围:                                          

 • 弯月牙涂胶基板尺寸:1400 mm×420 mm×200 mm); 

 • 液体胶刀的有效尺寸为:420mm: 

 二、设备概述:此胶狭缝系统包括供胶系统、精密胶刀、平面度调节机构、胶盒移动等部件组成。       

 • 供胶系统:伺服电机带动磁力泵供给胶刀,回流过滤循环供给,胶泵采购进口压力流量可调的磁力泵。 

 •  精密胶刀:胶刀出液狭缝可调,可适应100CP-200CP的光阻药液。同时出液的高度(0.15-0.25mm)通过调整泵的供压力及狭缝配合来调 

 • 面度调节机构:胶刀与胶盒的平行度可通过胶盒内的螺钉进行调平,胶刀与连接平面也可调整,胶刀与基板的平面通过机械方式也可调整。 

 • 利用电磁阀及气缸来实现胶盒盖的上下、左右方向的移动。

三、设备控制设计:          

 • 供泵系统胶泵为伺服电机,胶泵的压力、流速通过调节电机的转速控制。

 •  胶盒盖通过气缸控制+电磁阀(气缸都装有上下,左右位置检测传感器)。 

 •  基板移动加有接近开关(主要用于检测基板是否移过)