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12英寸自动匀胶显影机-爱姆加电子
    发布时间: 2020-03-24 17:23    

Pumping封装、3D-TSV、MEMS、OLED等领域PR工艺涂胶胶显影

Wafer Size: 12英寸全自动匀胶显影一体机

设备和各工位全封闭设计,不受外环境干扰

晶圆涂胶(SPIN COATING)-显影模
      (SPIN DEV)-OVEN单元(冷热板及增粘功能可选)

同片盒内每个硅片可分别制定工艺运行

自带暂停/恢复功能,以及故障排除功能,排风自动调节(可选)

12英寸自动匀胶显影机-爱姆加电子

自动匀胶显影机
使用范围:
pumping封装、3D-TSV、MEMS、OLED等领域PR工艺涂胶胶显影;
产能:预估100wafer/H;
产品种类:晶片如硅、玻璃片、键合片、化合物产品、逻辑类、存储类芯片、
摄像头芯片、功率器件芯片、OLED领域。

· 全自匀胶显影技术指标:

· 1、Camber根据用户要求可选配

· 2、主轴速度:50-6000rpm

· 3、THC&FFU等功能

· 4、EBR&BSR功能

· 5、PR数量可选配(标配2路)