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薄膜与厚膜的区别
在半导体制造领域,我们经常听到“薄膜制备技术”,“薄膜区”,“薄膜工艺”等词汇,那么有厚膜吗?薄膜与厚膜有什么区别呢?
来源: | 作者:pmoe2a7d5 | 发布时间: 2024-02-26 | 13534 次浏览 | 分享到:

 

一、什么是薄膜与厚膜?

薄膜,thin film,一般以nm为单位,是非常薄的膜层。对于厚膜与薄膜,没有非常严格的定义,我将厚度在1000nm(1um)以内的膜层归为薄膜。薄膜由于其相对较小的厚度和尺寸,通常可以被视为二维形式的物质,只能附着在基材上。

厚膜,thick film,一般以um为单位。厚度远大于薄膜,大约在几微米到几十微米之间。厚膜不完全需要基材,可独立制作。

二、薄膜与厚膜的区别?

应用区别——薄膜主要应用在半导体,光伏,光学,液晶领域中。而厚膜主要应用在无源电子元件(如电阻器、电容器和电感器),单片机,传感器,混合集成电路等领域。

制作工艺区别——常见的薄膜沉积技术包括物理气相沉积(PVD),化学气相沉积(CVD),原子层沉积(ALD),外延等。厚膜常用丝网印刷,喷涂,旋涂,电镀等方式制作。

精度区别——由于薄膜层较薄,通常精度和准确度更高,从而可以更好地控制薄膜的特性。而厚膜元件的精度较低。

成本区别——厚膜制造工艺简单,成本较低,适合更广泛的应用。而薄膜制造需要昂贵的机台与维护成本。

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