匀胶/显影机是线性模块配置的全自动设备，任意两个相邻模块之间都需要一个晶片的转移机构，所以晶片的模块间准确快速传送就显得格外重要。为了实现不同模块之间晶片的平稳转移和取放，
一个简易机械手的开发显得尤为重要。该机械手应该能完成左右旋转和上下升降两个功能，结构简单而可靠，同时造价较低，并能实现完全的国产化。

新型内容本实用新型的目的在于提供一种匀胶显影机用机械手装置，该机械手结构简单可靠而又合理，操作维修非常方便，且造价较低。

本实用新型的技术方案是胶显影机用机械手装置，包括主轴、套筒、大齿轮I、大齿轮II、底板、机械手、小齿轮I、支座、小齿轮II、升降电机、旋转电机；主轴外侧设有套筒，小齿轮II由旋转电机驱动，小齿轮II与大齿轮I通过皮带传动，大齿轮I通过连接部件与套筒固定，套筒上端与底板相连，主轴上部穿过底板，大齿轮II与主轴上部连接，支座置于底板上，大齿轮II与主轴上部连接，支座置于底板上，小齿轮I置于支座上，与机械手通过连接部件连接的小齿轮I与大齿轮II之间通过皮带传动。

所述皮带上下可以设有张紧轮；所述支座内开有与真空管、机械手相通的通道，主轴为中空轴，需要传送的晶片置于机械手上表面，通过真空吸附装置、主轴、真空管、支座，从机械手底部将晶片吸附于机械手上表面。

所述支座为“⊥”形，其内通道为“」”形，小齿轮I与“⊥”形支座的竖向通过轴承配合。

本实用新型丝杠与升降电机连接，丝杠穿过提升板，与提升板螺纹传动配合；同时，主轴、导向杆穿过提升板，形成对提升板的三点定位。

本实用新型位置检测开关安装在提升板上，与位于提升板右侧的极限位检测片配合完成机械手上下位的检测。

本实用新型旋转电机和升降电机可以为同步电机。

本实用新型的优点及有益效果是
1、本实用新型晶片在机械手上放置的中心点总是在一条直线上运动，且移动距离可调。

2、本实用新型机械手配有真空吸附，辅助晶片定位，确保晶片在移动中不发生偏移。

3、本实用新型机械手的上下移动和左右旋转均由步进马达实现，靠脉冲个数的给定来实现准确的重复定位精度。

4、本实用新型可以拥有良好的人机交互界面，对机械手进行监控。

5、本实用新型结构简单可靠而又合理，操作维修非常方便，且造价较低。