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晶圆封装与后膜光刻胶(下)
厚膜光刻胶和光刻聚合物目前已广泛应用于先进封装技术中。焊接凸点需要很厚的光阻层和较高重复精度,但并不要求很陡的侧壁倾角;金凸点和铜布线则要求中等厚度的光阻膜,而且对侧壁的精度与倾角要求都很高。对于感光介电材料中的过孔而言,最好应有倾斜的侧壁倾角以便与介电层下的金属焊盘保持良好接触。
来源: | 作者:pmoe2a7d5 | 发布时间: 2024-01-23 | 10047 次浏览 | 分享到:

20um的光阻层,而喷射显影法和超声显影法还正在研究过程中,可能是将来的主要方法。

结论 

  厚膜光刻胶和光刻聚合物目前已广泛应用于封装技术中。焊接凸点需要很厚的光阻层和较高重复精度,但并不要求很陡的侧壁倾角;金凸点和铜布线则要求中等厚度的光阻膜,而且对侧壁的精度与倾角要求都很高。对于感光介电材料中的过孔而言,倾斜的侧壁倾角以便与介电层下的金属焊盘保持良好接触。

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